|
Дата: 18 Фев 2009 12:28:57
#
Для изготовления ВШП используется фотолитографический процесс. Сборка начинается с полирования и очищения пьезоэлектрической подложки. Затем на подложку равномерно наносится металл, как правило, алюминий. Затем на устройство методом центрифугирования наносят фоторезист, а потом его задубливают с целью повышения прочности. Затем те области, которые должны быть металлизированы в конечном счете, закрываются светонепроницаемой бумагой, и устройство помещается под ультрафиолетовое излучение. В облученных зонах происходят химические изменения, после которых их легко удалить с помощью проявителя. Наконец, удаляется оставшийся фоторезист. Рисунок оставшегося металла и есть встречно-штыревой преобразователь. Эффективность сенсора можно максимизировать посредством изменения длины, ширины, толщины и расположения преобразователя.
|